Статьи пользователя Головко Мария Сергеевна

1. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ЩЕЛИ ПОД НОЖКУ ЗАТВОРА ПТШ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПРИСТЕНОЧНОГО ДИЭЛЕКТРИКА
Разработка технологии получения субмикронного Т-образного затвора с использованием оптической литографии является очень актуальной. В настоящей работе рассмотрен такой косвенный метод формирования субмикронного затвора ПТШ как метод с использованием пристеночного диэлектрика. Также представлены результаты экспериментов по разработке режимов травления и осаждения первого и второго слоя нитрида кремния соответственно. В качестве оборудования использовались установки плазмохимического травления и осаждения, установка электронно-лучевого напыления и электронный микроскоп.
Категория: Электроника
Размещена: 26.06.2018. Отзывов - 0. Просмотров - 1528.