Статьи пользователя Койшыманова Сымбат Сериковна

1. Зависимость скорости проявления от дозы экспонирования для позитивных фоторезистов ФП 9120 – 2 и AZ – 1512
В данной работе приводятся результаты исследований зависимости скорости проявления от дозы экспонирования для позитивных фоторезистов ФП 9120 – 2 и AZ – 1512. Показано, что для наиболее точного воспроизведения элементов изображения целесообразно экспонировать ФП 9120 – 2 дозой от 79,1 до 124,3 мДж/см^2 , а AZ – 1512 дозой от 101,7 – 129,9 мДж/см^2 .
Категория: Нанотехнологии
Размещена: 21.05.2019. Отзывов - 0. Просмотров - 1502.